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高純金屬有機化合物

2017-4-27

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: 5956 作者:未知

高純金屬有機化合物
高純金屬有機化合物即MO源是先進的金屬有機化學氣相沉積（簡稱MOCVD）、金屬有機分子束外延（簡稱MOMBE）等技術生長化合物半導體材料的支撐材料。化合物半導體材料是21世紀信息技術-光電子技術的基礎。MO源的研制是集極端條件下的制備、超純純化、超純分析、超純灌裝等于一體的現代高新技術。

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